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當(dāng)前位置：上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>制膜設(shè)備>>等離子濺射鍍膜>> VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀
VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型）,，控制面板采用觸摸屏模式，基片極限尺寸為2″,，放置樣品的直徑為?50mm,，加熱溫度達(dá)500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金,、銀,、銅三種靶材，不可以濺射輕金屬和碳,。本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺(tái),，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜，適用于實(shí)驗(yàn)室制備復(fù)膜的樣品,。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對(duì)設(shè)備進(jìn)行控制,，操作方便直觀。該機(jī)設(shè)備小巧,，占用實(shí)驗(yàn)室空間少,，操作簡(jiǎn)單，應(yīng)用廣泛,。因此被廣泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實(shí)驗(yàn)室中,。
1、PLC控制面板,，4.3″觸摸屏,，PID控溫方式。
2,、可控參數(shù)包括真空度,、電流、靶材位置,、基片加熱溫度,。
3、可與真空泵,、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用,。
4、已通過(guò)CE認(rèn)證。
| 產(chǎn)品名稱 | VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | VTC-16-3HD | |
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,，溫度25℃±15℃,，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1,、水：不需要 2,、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3,、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上）,，需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm,，,承重50kg以上 5,、通風(fēng)裝置：不需要 | |
| 主要參數(shù) | 1、輸入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵） 2,、輸出功率：1600VDC 50mA（最大電流） 3、石英罩：?160mm×120mm 4,、樣品臺(tái)：?50mm（可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái),，最高溫度可到500℃；最長(zhǎng)濺射時(shí)間不可超過(guò)5min） 5,、真空泵：120L/M旋片式真空泵6,、進(jìn)氣口：裝有精密可調(diào)針閥，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 7,、靶材：尺寸直徑?47mm,，厚度0.1mm-3mm；可濺射Au,、Ag,、Pt、Cr,、Ni,， 不可濺射氧化物、半導(dǎo)體,、一些輕金屬,、Al、Zn,、C等 | |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：360mm×350mm×3600mm,； | |
| 可選配件 | 1、KF25真空接口,、卡箍 2,、不銹鋼波紋管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4、鉑,、銀,、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺(tái) | |
